Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС...
Характеристики
Автор(ы):
Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И.
Издательство:
БИНОМ. Лаборатория знаний
Год издания:
2011
Кол-во страниц:
277
Переплёт:
Твердый
Смотреть все
Категории
Тэги
Получение информации о методах доставки
Избранное
Сравнение
Описание
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Характеристики
Автор(ы) | Громов Д.Г., Мочалов А.И., Сулимин А.Д., Шевяков В.И. |
Издательство | БИНОМ. Лаборатория знаний |
Вид издания | Учебное пособие |
Год издания | 2011 |
ISBN | 978-5-94774-904-5 |
Кол-во страниц | 277 |
Формат страниц | 60x90/16 (145x215 мм) |
Язык | Русский |
Переплёт | Твердый |
Тираж | 1000 экз. |
Вес | 395 г |
Отзывы
Популярные товары
Изучаем Python, том 1, 5-е издание3 280 ₽Java. Полное руководство, 10-е издание4 430 ₽Анализ ценных бумаг. 3-е издание5 690 ₽
Смотреть всеПомощь
+7 928 117-10-37
Отдел продаж
Если у вас возникли вопросы при оформлении заказа, обратитесь по указанным контактам.